100,000 polvo-puriga nivelo
1. La aera pureco de la pura ĉambro devas esti provita jene
(1) Malplena stato, statika provo
Malplena stato-testo: La pura ĉambro estis kompletigita, la purigita klimatizilo sistemo funkcias normala, kaj la testo estas farita sen proceza ekipaĵo kaj produktadpersonaro en la ĉambro.
Senmova testo: La puriga ĉambro-puriga klimatizilo-sistemo estas en normala funkciado, la proceza ekipaĵo estas instalita, kaj la testo estas farita sen produktadpersonaro en la ĉambro.
(Du) dinamika provo
La pura ĉambro estis provita sub normalaj produktadkondiĉoj.
La detekto de aervolumeno, ventorapideco, pozitiva premo, temperaturo, humideco kaj bruo en la pura ĉambro povas esti farita laŭ la koncernaj regularoj de ĝenerala uzo kaj klimatizilo.
Purĉambra (areo) aera pureca nivela tablo
| Nivelo de pureco | Maksimuma alleblas nombro da polvaj partikloj/m3≥0.5μmNombro da polvaj partikloj | ≥5μmNombro da polvaj eroj | Maksimuma permesebla nombro da mikroorganismoj Planktonaj bakterioj/m3 | Sediganta bakterioj/plado |
| 100klaso | 3.500 | 0 | 5 | 1 |
| 10.000klaso | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
| 100,000klaso | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
| 300,000klaso | 10,500,000 | 60,000 | 1000 | 15 |
